实用新型
- 专利标题： 一种FAB生产厂房
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申请号： CN201921285784.1申请日： 2019-08-08
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公开(公告)号： CN212027285U公开(公告)日： 2020-11-27
- 发明人: 罗桥 , 张东 , 李成新 , 安力壮 , 侯崇强 , 雍倩文
- 申请人： 世源科技工程有限公司 , 中国电子工程设计院有限公司
- 申请人地址： 北京市海淀区西四环北路160号玲珑天地大厦C座
- 专利权人： 世源科技工程有限公司,中国电子工程设计院有限公司
- 当前专利权人： 世源科技工程有限公司,中国电子工程设计院有限公司
- 当前专利权人地址： 北京市海淀区西四环北路160号玲珑天地大厦C座
- 代理机构： 北京同达信恒知识产权代理有限公司
- 代理商 金银花
- 主分类号： E04H5/02
- IPC分类号： E04H5/02 ; E04H1/12 ; E04F15/024
摘要：
本实用新型涉及集成电路生产技术领域，公开一种FAB生产厂房。FAB生产厂房，包括从上至下依次设置的洁净生产层、洁净下夹层和下技术夹层，其中，所述下技术夹层中增设有第一洁净生产区。增设的该第一洁净生产区位于洁净下夹层的下方，形成上下双层洁净室。在上述FAB生产厂房的下技术夹层增设洁净生产区，可以增大生产面积，减少晶圆的生产传输路线，也有利于消防疏散。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利
