一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪
摘要:
本实用新型公开了一种半导体检测用基于磁光效应的成像椭偏仪,包括机箱,所述机箱的顶部固定连接有成像椭偏仪本体,所述机箱的右侧固定连接有驱动电机,所述驱动电机的输出轴固定连接有螺纹杆,所述螺纹杆的表面套设有螺纹套,所述螺纹套的顶部固定连接有安装板。本实用新型通过驱动电机、螺纹杆、螺纹套、安装板、液压伸缩缸、转轮、连接杆、微型电机、传动机构和放置槽的配合,驱动电机的输出轴通过螺纹杆带动螺纹套左右移动,通过液压伸缩缸带动转轮上下移动,调节高度,微型电机的输出轴通过齿轮和圆形齿牙板带动转轮旋转,调节被测物体的角度,从而达到测量精准度高的效果,解决了现有装置测量精准度低的问题。
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