实用新型
CN213353238U 一种可实时监测液滴沉积成膜过程的成膜设备
失效 - 权利终止
- 专利标题： 一种可实时监测液滴沉积成膜过程的成膜设备
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申请号： CN201821691984.2申请日： 2018-10-18
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公开(公告)号： CN213353238U公开(公告)日： 2021-06-04
- 发明人: 陈文奂 , 谢丹 , 舒霞云 , 许克宇 , 吴常健 , 魏智滨 , 张墙 , 肖航
- 申请人： 厦门理工学院
- 申请人地址： 福建省厦门市集美区理工路600号
- 专利权人： 厦门理工学院
- 当前专利权人： 厦门理工学院
- 当前专利权人地址： 福建省厦门市集美区理工路600号
- 代理机构： 泉州市潭思专利代理事务所
- 代理商 麻艳
- 主分类号： B29C41/52
- IPC分类号： B29C41/52 ; B29C41/36 ; B29L7/00
摘要：
本实用新型公开了一种可实时监测液滴沉积成膜过程的成膜设备，包括微滴喷射装置、采集液滴成膜过程图像的图像采集装置及控制成膜设备工作的中控单元；所述的微滴喷射装置包括喷头、基板及运动机构，所述的基板设于运动机构的运动台上；所述的图像采集装置包括显微镜及高速相机。本实用新型装置能够实时监测液滴沉积成膜过程，通过观察监测到的液滴沉积形成图像，获取成膜过程信息，作为后续工作的基础或者获取经验数据。
