- 专利标题: 一种STM探针针尖制备装置的探针往复推动机构
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申请号: CN202022235820.2申请日: 2020-09-27
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公开(公告)号: CN213476146U公开(公告)日: 2021-06-18
- 发明人: 王一 , 郭祥 , 王继红 , 李军丽 , 杨晨 , 罗子江 , 丁召
- 申请人: 贵州大学
- 申请人地址: 贵州省贵阳市花溪区贵州大学花溪北校区科技处
- 专利权人: 贵州大学
- 当前专利权人: 贵州大学
- 当前专利权人地址: 贵州省贵阳市花溪区贵州大学花溪北校区科技处
- 代理机构: 贵阳中新专利商标事务所
- 代理商 张彪
- 主分类号: C25F7/00
- IPC分类号: C25F7/00 ; C25F3/02
摘要:
本实用新型公开了一种STM探针针尖制备装置的探针往复推动机构,包括:底座;伸缩机构本体,所述伸缩机构本体固定连接在底座上,伸缩机构本体上设有螺纹孔;丝杆,所述丝杆与螺纹孔相匹配,丝杆螺纹连接在螺纹孔上,丝杆右端与探针夹持座连接;正多边形杆,所述正多边形杆固定连接在丝杆右端;步进电机,所述步进电机固定连接底座上,步进电机位于伸缩机构本体右侧,步进电机的转轴上开有于正多边形杆相匹配的正多边形孔,正多边形杆插入正多边形孔中,步进电机与控制器电连接。以解决现有技术不能同时满足高精度和低速下运行的要求,达不到探针针尖制作时条件的问题。