本实用新型公开了一种SF6电气设备微水密度循环监测处理装置，属于气体检测领域。本实用新型的SF6电气设备微水密度循环监测处理装置，包括除湿装置、抽气管、回气管、微水密度传感器、气体循环泵、电加热丝和主控制器。本实用新型利用气体循环泵使SF6电气设备内的SF6气体循环流动，利用微水密度传感器检测流动气体的微水含量和密度，检测更加准确，同时利用除湿装置对循环流动的SF6气体进行干燥处理；并利用电加热丝对除湿装置的除湿滤芯进行加热，将水分蒸发后由真空抽气口排出，不仅提高了SF6电气设备中SF6气体微水密度的监测准确性，而且能够对SF6气体进行干燥处理，使得SF6气体的微水处理更加简单高效，无需复杂的换气设备，处理成本低。