本实用新型公开了一种抽气装置，包括：反应器、石墨托盘、支撑筒、升降杆、升降板和外筒，外筒包括第一竖直段、倾斜段和第二竖直段，倾斜段的两端分别与第一竖直段和第二竖直段连接，第一竖直段的直径小于第二竖直段的直径，倾斜段沿水平方向和石墨托盘相对设置；抽气口，设置在反应器的侧壁下端，且与反应腔连通。本实用新型实际使用时，当从抽气口对反应器的反应腔进行抽气时，外筒具有倾斜段，气流中夹带的颗粒物碰到倾斜的外筒内壁后会往下部方向反弹，不会回弹到衬底表面，大大减少了颗粒物造成的材料生长的缺陷。