- 专利标题: 一种用于干法定点转移制备TEM样品的PPC膜
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申请号: CN202022024433.4申请日: 2020-09-15
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公开(公告)号: CN213903361U公开(公告)日: 2021-08-06
- 发明人: 胡伟达 , 陈允枫 , 王振 , 叶家富 , 李庆 , 王芳 , 张莉丽 , 王鹏 , 陈效双 , 陆卫
- 申请人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 申请人地址: 上海市虹口区玉田路500号
- 专利权人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人: 中国科学院上海技术物理研究所
- 当前专利权人地址: 上海市虹口区玉田路500号
- 代理机构: 上海沪慧律师事务所
- 代理商 郭英
- 主分类号: G01N23/04
- IPC分类号: G01N23/04 ; G01N23/20008 ; G01N1/28 ; G01N1/44
摘要:
本专利公开了一种用于干法定点转移制备TEM样品的PPC膜。PPC膜的结构为:PDMS薄膜被透明胶带固定在载玻片上,粘有PPC薄膜的中间开孔的透明胶带粘在透明胶带上,PPC薄膜位于中间开孔的透明胶带开孔位置;利用特制的PPC膜,无损地将目标材料定点转移到铜网上完成TEM样品的制备,避免了湿法转移中存在的目标样品随机分布、材料损伤大、无法转移易水氧样品等问题,实现了高效、可靠地制备高质量的TEM样品。利用PPC的物理特性,在微区转移平台的辅助下,可以定点地对目标样品进行微区精准操作。这种全新的方法无须使用强酸强碱进行腐蚀,转移过程中不会对材料和碳膜造成损伤。