实用新型
- 专利标题: 旋转装置
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申请号: CN202023005228.X申请日: 2020-12-14
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公开(公告)号: CN214004780U公开(公告)日: 2021-08-20
- 发明人: 施建新 , 蒲勇
- 申请人: 芯三代半导体科技(苏州)有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏慕路104号S栋
- 专利权人: 芯三代半导体科技(苏州)有限公司
- 当前专利权人: 芯三代半导体科技(苏州)有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市中国(江苏)自由贸易试验区苏州片区苏州工业园区苏慕路104号S栋
- 主分类号: C23C16/458
- IPC分类号: C23C16/458
摘要:
本实用新型公开了一种旋转装置,包括:具有反应腔的反应器;壳体,设置在反应器的底部,壳体包括容纳腔,容纳腔和反应腔相连通;旋转轴,绕自身轴线可转动地设置在壳体的容纳腔内,且旋转轴的一端伸至反应腔内;旋转盘,和旋转轴伸至反应腔的一端连接;石墨托盘,支撑在旋转盘上;加热组件,设置在反应腔内,用于对石墨托盘加热;无框电机,包括转子和定子,定子固定设置在壳体上,转子套设在旋转轴的外侧壁上且对应设置在定子的内部。本实用新型由于采用无框电机直接驱动旋转轴转动,对旋转轴仅仅施加旋转的力矩,而无侧向力,使得旋转装置的旋转更为平稳和可靠。
IPC分类: