实用新型
- 专利标题: 改进的蚀刻机
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申请号: CN202023126849.3申请日: 2020-12-23
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公开(公告)号: CN214937811U公开(公告)日: 2021-11-30
- 发明人: 顾叶锋 , 王娟 , 惠倩
- 申请人: 苏州普汇达电子科技有限公司 , 顾叶锋
- 申请人地址: 江苏省苏州市工业园区胜浦银胜路133号;
- 专利权人: 苏州普汇达电子科技有限公司,顾叶锋
- 当前专利权人: 苏州普汇达电子科技有限公司,顾叶锋
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市工业园区胜浦银胜路133号;
- 主分类号: C23F1/08
- IPC分类号: C23F1/08 ; C02F9/08 ; C02F103/16
摘要:
本实用新型公开了改进的蚀刻机,包括机体和净化设备,所述净化设备包括反应桶和传动箱,所述传动箱内部设有化工泵,所述化工泵通过液管分别与机体和反应桶连通,所述反应桶顶端设有反应液注入口,所述反应桶两侧分别设有机箱、冷凝箱和净化箱,所述冷凝箱通过气管与反应桶连通,所述反应桶内部设有搅拌桨和加热器。通过机体与净化设备的结合,对于化学蚀刻后的反应溶液将直接排放至反应桶内,可直接对反应溶液进行处理,本净化设备采用混合、蒸发、冷凝、净化一系列处理,可达到反应溶液处理的最佳效果,有效避免了收集、转移的繁琐流程,同时也避免了转移过程中,化学气体挥发污染环境的问题。
IPC分类: