实用新型
- 专利标题: 一种管道内壁聚对二甲苯镀膜设备
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申请号: CN202220132253.4申请日: 2022-01-18
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公开(公告)号: CN216765032U公开(公告)日: 2022-06-17
- 发明人: 李志胜 , 刘小江 , 王成祥 , 李志安
- 申请人: 北京胜泰东方科技有限公司
- 申请人地址: 北京市房山区福宁街6号院1号楼12层1203
- 专利权人: 北京胜泰东方科技有限公司
- 当前专利权人: 北京胜泰东方科技有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市房山区福宁街6号院1号楼12层1203
- 代理机构: 长春众邦菁华知识产权代理有限公司
- 代理商 张伟
- 主分类号: C23C14/24
- IPC分类号: C23C14/24 ; C23C14/12 ; C23C14/04
摘要:
本实用新型涉及一种管道内壁聚对二甲苯镀膜设备,包括作为沉积室的被镀膜管道工件,蒸发炉、裂解炉、工艺阀和第一管道对接机构依次连通,被镀膜管道工件的两端分别与第一管道对接机构和第二管道对接机构密封连接,第二管道对接机构、前级阀、低温冷阱和真空泵依次连通,被镀膜管道工件的外部设有管道冷却罩,真空泵还通过辅抽阀与第二管道对接机构连通,第二管道对接机构上设有放气阀。本实用新型通过利用被镀膜管道工件自身作为设备的沉积室部分,替代原设备沉积室的功能,实现对管道内壁进行镀膜的生产需求,解决了大型镀膜设备建造的问题,提高了材料利用率,完全去掉了常规镀膜后对沉积室内壁进行清理的工艺环节,降低了成本。
IPC分类: