实用新型
- 专利标题: 一种洁净度高的低氧超高温箱
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申请号: CN202221212746.5申请日: 2022-05-20
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公开(公告)号: CN217929031U公开(公告)日: 2022-11-29
- 发明人: 戴树乐 , 杨胜坤 , 周莹莹 , 曹峻 , 王晓丹 , 刘斌 , 穆雅楠 , 王哲 , 崔倩倩 , 单惠琳 , 廖德阳 , 邓成臣 , 夏可瑜
- 申请人: 东莞市升微机电设备科技有限公司 , 山东省产品质量检验研究院
- 申请人地址: 广东省东莞市大朗镇大朗水新路221号3栋;
- 专利权人: 东莞市升微机电设备科技有限公司,山东省产品质量检验研究院
- 当前专利权人: 东莞市升微机电设备科技有限公司,山东省产品质量检验研究院
- 当前专利权人地址: 广东省东莞市大朗镇大朗水新路221号3栋;
- 代理机构: 广州市华学知识产权代理有限公司
- 代理商 李盛洪
- 主分类号: F24F3/163
- IPC分类号: F24F3/163 ; F24F8/108 ; F24F11/89 ; F24F13/00 ; F24F13/28
摘要:
本实用新型公开了一种洁净度高的低氧超高温箱,其涉及超高温箱领域,其包括外箱组件,外箱组件上设置有一侧开口的容纳腔,箱门,箱门设置在外箱组件的开口处,以使容纳腔形成密闭空间,还包括设置在容纳腔内后端的风机,至少两个设置在容纳腔内的过滤器,过滤器为金属构件或陶瓷构件,设置在风机的一侧并与容纳腔相连通的进气管道,设置在风机的另一侧并与容纳腔相连通的排气口,以及设置在容纳腔内的加热器,本技术方案采用在容纳腔内四周出风,中间回风方式,使得气体会先经过位于容纳腔内的过滤器,从而可以提高容纳腔的洁净度和温度的均匀性,本实用新型解决现有技术中风量小,温度均匀性不高,洁净度不够的技术问题。
IPC分类: