一种洁净度高的低氧超高温箱
摘要:
本实用新型公开了一种洁净度高的低氧超高温箱,其涉及超高温箱领域,其包括外箱组件,外箱组件上设置有一侧开口的容纳腔,箱门,箱门设置在外箱组件的开口处,以使容纳腔形成密闭空间,还包括设置在容纳腔内后端的风机,至少两个设置在容纳腔内的过滤器,过滤器为金属构件或陶瓷构件,设置在风机的一侧并与容纳腔相连通的进气管道,设置在风机的另一侧并与容纳腔相连通的排气口,以及设置在容纳腔内的加热器,本技术方案采用在容纳腔内四周出风,中间回风方式,使得气体会先经过位于容纳腔内的过滤器,从而可以提高容纳腔的洁净度和温度的均匀性,本实用新型解决现有技术中风量小,温度均匀性不高,洁净度不够的技术问题。
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