本实用新型公开了一种过氧化氢低温汽化发生器及汽化过氧化氢灭菌系统，过氧化氢汽化发生器包括载气进气单元和过氧化氢汽化单元，过氧化氢汽化单元中设有微雾喷头。汽化过氧化氢灭菌系统包括过氧化氢汽化发生器以及与过氧化氢汽化发生器的出气口通过输送管路连接的待灭菌空间；输送管路上设有管壁温度监测传感器，内壁上涂覆有PTFE涂层；待灭菌空间内设有过氧化氢传感器。本实用新型利用液体薄膜低温汽化技术，可减少汽化过程中过氧化氢的分解；在输送管路上设置管壁温度监测传感器并在内壁上涂覆PTFE涂层，可减少过氧化氢运输过程中的冷凝和分解；对载气温度、流量和湿度进行动态调节，可提升灭菌稳定性。