本实用新型提供了一种柔性钙钛矿太阳能电池真空镀膜设备，涉及钙钛矿太阳能电池技术领域。包括卷绕室和真空镀膜室；卷绕室和真空镀膜室内均设有用以放卷或收卷柔性基材的基材传送辊组和用以在卷绕室内和真空镀膜室内支撑并传送掩膜的掩膜传送辊组，使得掩膜能和柔性基材同步移动；真空镀膜室内设有主卷辊和用以对柔性基材镀膜的磁控靶；主卷辊用以卷绕掩膜与柔性基材，从而使得主卷辊上的掩膜与柔性基材相贴合，通过掩膜在柔性基材上预留电极图案，从而控制沉积的金属电极间隔排列。能够提高镀膜图案的精度和工艺稳定性，省去激光蚀刻工艺的步骤，而且无需抽真空即可更换掩膜，提高了生产效率并降低了生产成本。