长寿命电极及激光器
摘要:
本实用新型提供了一种长寿命电极及激光器,长寿命电极包括电极基带、辅助带和电极定位板;辅助带位于所述电极基带和/或电极定位板的局部区域内,本实用新型通过更改电极材料成分及内部结构,改变电极结构不同位置的散热能力,实现放电过程中放电区电极表面电子通量、离子通量及电子温度等的改变,进而改善放电电场的不均匀性,减小电极整体的烧蚀差异,延长电极和放电腔室的使用寿命,同时可以提高准分子激光光源输出激光剂量稳定性及光束的稳定性。
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