实用新型
- 专利标题: 长寿命电极及激光器
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申请号: CN202223487557.1申请日: 2022-12-26
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公开(公告)号: CN218958251U公开(公告)日: 2023-05-02
- 发明人: 姜越 , 刘斌 , 黄春亮 , 邢英金 , 吴劲松 , 张寅虎 , 徐向宇
- 申请人: 北京科益虹源光电技术有限公司
- 申请人地址: 北京市大兴区经济技术开发区融兴北一街19号院中寰工程4号楼一层
- 专利权人: 北京科益虹源光电技术有限公司
- 当前专利权人: 北京科益虹源光电技术有限公司
- 当前专利权人地址: 北京市大兴区经济技术开发区融兴北一街19号院中寰工程4号楼一层
- 代理机构: 北京融智邦达知识产权代理事务所
- 代理商 吴强
- 主分类号: H01S3/038
- IPC分类号: H01S3/038 ; H01S3/03
摘要:
本实用新型提供了一种长寿命电极及激光器,长寿命电极包括电极基带、辅助带和电极定位板;辅助带位于所述电极基带和/或电极定位板的局部区域内,本实用新型通过更改电极材料成分及内部结构,改变电极结构不同位置的散热能力,实现放电过程中放电区电极表面电子通量、离子通量及电子温度等的改变,进而改善放电电场的不均匀性,减小电极整体的烧蚀差异,延长电极和放电腔室的使用寿命,同时可以提高准分子激光光源输出激光剂量稳定性及光束的稳定性。