实用新型
- 专利标题: 用于PVD镀膜的遮蔽装置
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申请号: CN202223519831.9申请日: 2022-12-28
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公开(公告)号: CN219174598U公开(公告)日: 2023-06-13
- 发明人: 朱超 , 秦煌 , 杨红涛 , 刘书宇 , 魏兵 , 张士浤 , 洪辰谕
- 申请人: 富联裕展科技(深圳)有限公司
- 申请人地址: 广东省深圳市龙华区龙华街道富康社区东环二路2号富士康H5厂房101、观澜街道福城大三社区富士康鸿观科技园B区厂房5栋C09栋4层、C07栋2层、C08栋3层4层、C04栋1层
- 专利权人: 富联裕展科技(深圳)有限公司
- 当前专利权人: 富联裕展科技(深圳)有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省深圳市龙华区龙华街道富康社区东环二路2号富士康H5厂房101、观澜街道福城大三社区富士康鸿观科技园B区厂房5栋C09栋4层、C07栋2层、C08栋3层4层、C04栋1层
- 代理机构: 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司
- 代理商 梁飞龙
- 主分类号: C23C14/04
- IPC分类号: C23C14/04
摘要:
一种用于PVD镀膜的遮蔽装置,包括:抵推组件,具有可上下浮动的抵推斜面;承载组件,可转动地插设于抵推组件并设有承载抵持件;遮蔽组件,套设于承载组件并与承载组件滑动连接;及承托组件,包括:承托连接件,设于遮蔽组件和抵推组件之间并与承载组件连接;承托件,穿设于承托连接件并与承托连接件转动连接。承托件在顺时针和逆时针中的一个方向周向转动时保持遮蔽组件未遮蔽状态,镀膜机构对周侧中央主面和周侧边缘弧面进行镀膜,承托件在另一个方向周向转动时松脱遮蔽组件,遮蔽组件遮蔽周侧中央主面,镀膜机构对周侧边缘弧面再次镀膜,使得再次镀膜后周侧边缘弧面所镀的膜层与周侧中央主面所镀的膜层厚度及完整度相一致,提高镀膜精度。
IPC分类: