带反馈的膜片式压力传感系统
摘要:
本实用新型涉及带反馈的膜片式压力传感系统,其包括主体、膜片以及反馈组件。主体设置气腔。膜片设置于气腔的开口处,膜片两侧产生压力差时,膜片形变并朝向压力较小一侧产生位移;反馈组件设置于主体,反馈组件用于提供作用于膜片的反馈场,膜片在反馈场的作用下形变产生位移。带反馈的膜片式压力传感系统在对待测环境压力进行检测时,膜片两侧的气压差使得膜片形变以发生位移,通过膜片的位移值可以确定待测环境压力。当需要扩大膜片所测压力范围时,可以通过反馈组件形成反馈场,使得膜片可以朝向与原形变位移方向相反的方向进行形变位移,使得膜片两侧的气压差得以增大,进而实现前述扩大膜片所测压力范围的效果。
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