本实用新型公开了一种用于能对不同阶段制程进行取样的研磨液混配装置，包括柜体，设置在柜体内部不同腔室内的原液桶、混配系统和电控模块；所述混配系统包括混配桶、原液管路、循环管路、送液管路、纯水管路和气体管路，原液管路上设有原液泵，循环管路上设有循环泵，送液管路上设有送液泵，所述原液管路、循环管路和送液管路上均设有取样支管，取样支管伸入取样箱的取样瓶内。本实用新型能够对研磨液混配过程中不同阶段的管路内的液体配比进行监测，从而保证研磨液的混配精度和混配效率。