本发明涉及超导腔的等离子体清洗技术领域，具体涉及一种超导腔等离子体清洗的电路结构；所述的电路结构包括主电路和功率监测电路，其中主电路为依序连接的信号源、功率放大器、环形器、定向耦合器、支节调谐器、偏置器、功率耦合器及超导腔；所述功率监测电路中包括一功率监测设备，用于密切监测超导腔功率馈入端口的入射功率、反射功率及超导腔功率提取端口的传输功率；本发明一方面通过支节调谐器调节其支节短路片的位置来改善弱耦合状态的功率耦合器阻抗不匹配的情况；另一方面有效改善现有装置的不足。