一种多晶硅还原炉抛光清洁装置
摘要:
本实用新型公开了一种多晶硅还原炉抛光清洁装置,具体涉及清洁装置领域,包括支撑板、支腿、底板、进液管、出液管以及炉体,支撑板底端设置有多个支腿,支撑板底端中部安装有底板,底板底部对称安装有进液管和出液管,支撑板顶端支撑安装有炉体,支撑板两侧对称安装有夹持机构,两个夹持机构对炉体两侧进行夹持压接,底板中部安装有抛光清洁机构,抛光清洁机构顶端插入炉体内部,抛光清洁机构两侧安装有伸缩杆,两个伸缩杆顶端插入炉体内部且与抛光清洁机构顶端衔接。本实用新型具有方便对炉体进行固定,防止炉体在抛光清洁时产生振动,且防止伸缩抛光刷对炉体内壁进行清洁抛光时产生硬性碰撞,从而使得抛光更加均匀,清洁更加彻底的优点。
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