本实用新型公开了一种基板烘烤设备，包括：机架、烘箱、顶升机构、加热降温机构；烘箱，设置在机架上，所述烘箱包括烘箱本体和上盖，所述上盖内部设置有防凝结涂层；顶升机构，设置在所述烘箱下侧，包括顶针、支撑架和驱动组件，所述顶针多处设置在所述支撑架上，所述驱动组件与所述支撑架连接驱动所述支撑架上下移动；温度调节机构，设置在所述烘箱下侧，包括加热组件和降温组件，所述加热组件与所述降温组件通过进气管道与所述烘箱连接。本实用新型的有益之处在于，设置顶升机构实现产品的平稳顶升，减少上盖异物凝结，减少清理次数，提高产品加工质量。