涂布工作台及狭缝涂布装置
摘要:
本申请公开了一种涂布工作台及狭缝涂布装置;涂布工作台包括载台和升降支撑柱;载台包括水平涂布区,水平涂布区沿涂布方向依次包括预涂区、匀涂区和收尾区;匀涂区分别与预涂区、收尾区隔断;升降支撑柱设于匀涂区的一侧;升降支撑柱包括承载面,承载面用于承载待涂布件,升降支撑柱带动待涂布件在匀涂区垂直升降。使用上述提供的涂布工作台进行涂布,涂布作业在预涂区起刀,涂布作业在收尾区收刀,使得待涂布件表面的膜层厚度不受起刀和落刀液量的影响,明显改善了涂布膜层厚度的均一性。
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