芯片表面检测装置
摘要:
本实用新型提出芯片表面检测装置,属于芯片检测技术领域,包括:检测架、摄像头和检测台,检测架上设置有升降机构,升降机构包括升降滑杆和升降座,升降座上安装主摄像头,升降滑杆上安装两个斜侧摄像头,主摄像头和斜侧摄像头用于拍摄位于正下方的检测台上的芯片获得芯片图片,采用升降滑杆上安装两个斜侧摄像头,主摄像头和斜侧摄像头用于拍摄位于正下方的检测台上的芯片获得芯片图片,可以采集多种斜侧视图,以提高芯片表面缺陷检测精度,将芯片图片传输至后台服务器进行缺陷检测,将缺陷检测不合格的芯片提取出进行人工复检,人工复检也不合格的进行回收。
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