发明公开
- 专利标题： Elektronenstrahl-Gravierverfahren
- 专利标题（英）： Electron beam engraving process
- 专利标题（中）： 电子束雕刻。
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申请号： EP80107293.5申请日： 1980-11-22
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公开(公告)号： EP0029604A2公开(公告)日： 1981-06-03
- 发明人: Beisswenger, Siegfried , Boppel, Wolfgang , Grieger, Dieter
- 申请人： DR.-ING. RUDOLF HELL GmbH
- 申请人地址： Grenzstrasse 1-5 D-24149 Kiel DE
- 专利权人： DR.-ING. RUDOLF HELL GmbH
- 当前专利权人： DR.-ING. RUDOLF HELL GmbH
- 当前专利权人地址： Grenzstrasse 1-5 D-24149 Kiel DE
- 优先权： DE2947444 19791124
- 主分类号： H01J37/302
- IPC分类号： H01J37/302 ; B41C1/02
摘要：
Elektronenstrahlgravierverfahren zur schnellen aufeinanderfolgenden Erzeugung von Vertiefungen in der Oberfläche eines Werkstücks durch unterschiedliche Einwirkung eines Elektronenstrahls auf ein Werkstück.
公开/授权文献
- EP0029604B1 Elektronenstrahl-Gravierverfahren 公开/授权日：1983-11-02
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