发明授权
- 专利标题： Semiconductor strain gauge
- 专利标题（中）： 半导体应变计
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申请号： EP81101182.4申请日： 1981-02-19
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公开(公告)号： EP0034807B1公开(公告)日： 1985-02-13
- 发明人: Yamada, Kazuji , Sato, Hideo , Suzuki, Seiko , Kobayashi, Ryoichi , Nishihara, Motohisa
- 申请人： Hitachi, Ltd.
- 申请人地址： 5-1, Marunouchi 1-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100 JP
- 专利权人： Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人： Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人地址： 5-1, Marunouchi 1-chome Chiyoda-ku, Tokyo 100 JP
- 代理机构： Beetz sen., Richard
- 优先权： JP20440/80 19800222
- 主分类号： G01L1/18
- IPC分类号： G01L1/18 ; G01L9/06 ; H01L29/84
公开/授权文献
- EP0034807A1 Semiconductor strain gauge 公开/授权日：1981-09-02
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