发明授权
- 专利标题： Positioning method for mask set used in IC fabrication
- 专利标题（中）： IC制造中使用的掩模定位方法
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申请号： EP83104481.3申请日： 1983-05-06
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公开(公告)号： EP0096224B1公开(公告)日： 1986-10-29
- 发明人: King, Bruce Dale , Levin, James Peter
- 申请人： International Business Machines Corporation
- 申请人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 代理机构： Gaugel, Heinz
- 优先权： US385591 19820607
- 主分类号： G03B41/00
- IPC分类号： G03B41/00
公开/授权文献
- EP0096224A1 Positioning method for mask set used in IC fabrication 公开/授权日：1983-12-21
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