发明公开
- 专利标题： Plasma emission source
- 专利标题（中）： 等离子体排放源
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申请号： EP85101457申请日： 1985-02-11
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公开(公告)号： EP0155496A3公开(公告)日： 1987-09-09
- 发明人: Gagne, Peter H. , Morrisroe, Peter J.
- 申请人： THE PERKIN-ELMER CORPORATION
- 专利权人： THE PERKIN-ELMER CORPORATION
- 当前专利权人： THE PERKIN-ELMER CORPORATION
- 优先权： US585807 19840302
- 主分类号： H05H01/30
- IPC分类号： H05H01/30
摘要：
An impedance matching network for continuously and automatically maximizing RF power transfer to a plasma emission torch includes a dual phase detector network. Signals from the detector network control, via a control unit, a variable impedance network.
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