发明公开
- 专利标题: PRESSURE SENSING CELL USING BRITTLE DIAPHRAGM
- 专利标题(中): 与干燥度薄膜压力传感器。
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申请号: EP85905261.0申请日: 1985-10-08
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公开(公告)号: EP0198031A1公开(公告)日: 1986-10-22
- 发明人: KNECHT, Thomas, A. , FRICK, Roger, L. , SCHULTE, John, P.
- 申请人: ROSEMOUNT INC.
- 申请人地址: 12001 West 78th Street Eden Prairie, MN 55344 US
- 专利权人: ROSEMOUNT INC.
- 当前专利权人: ROSEMOUNT INC.
- 当前专利权人地址: 12001 West 78th Street Eden Prairie, MN 55344 US
- 代理机构: Cross, Rupert Edward Blount, et al
- 优先权: US19840660394 19841012
- 国际公布: WO1986002486 19860424
- 主分类号: G01L9
- IPC分类号: G01L9 ; H01G5 ; H01G7
摘要:
Une cellule capacitive de détection (10) susceptible d'être produite en série utilise un substrat ou base (11) en un matériau isolant rigide, tel que du verre, et un agencement de diaphragme (12, 14, 15) constitué d'un semiconducteur friable. L'agencement de diaphragme (12, 14, 15) et le substrat (11) sont anodiquement connectés. Un évidement très peu profond (20) est formé sur le diaphragme ou sur le substrat pour recevoir une plaque (24) de condensateur déposée. Deux de ces agencements (10) sont connectés et l'ensemble est rempli d'un fluide incompressible afin d'écarter légèrement les diaphragmes (15) des substrats (11). La pression différentielle entre les agencements de diaphragme (12, 14, 15) est captée en détectant les positions relatives des deux diaphragmes (15).
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