发明公开
EP0198031A1 PRESSURE SENSING CELL USING BRITTLE DIAPHRAGM 失效
与干燥度薄膜压力传感器。

PRESSURE SENSING CELL USING BRITTLE DIAPHRAGM
摘要:
Une cellule capacitive de détection (10) susceptible d'être produite en série utilise un substrat ou base (11) en un matériau isolant rigide, tel que du verre, et un agencement de diaphragme (12, 14, 15) constitué d'un semiconducteur friable. L'agencement de diaphragme (12, 14, 15) et le substrat (11) sont anodiquement connectés. Un évidement très peu profond (20) est formé sur le diaphragme ou sur le substrat pour recevoir une plaque (24) de condensateur déposée. Deux de ces agencements (10) sont connectés et l'ensemble est rempli d'un fluide incompressible afin d'écarter légèrement les diaphragmes (15) des substrats (11). La pression différentielle entre les agencements de diaphragme (12, 14, 15) est captée en détectant les positions relatives des deux diaphragmes (15).
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