发明公开
- 专利标题: Couches minces de métal condensé sur un substrat et contenant carbone ou azote en solution d'insertion
- 专利标题(英): Thin films of metallic condensations on a substrate and containing carbon and nitrogen in solution
- 专利标题(中): 基底上金属凝结薄膜和溶液中含有碳和氮的薄膜
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申请号: EP86402783.4申请日: 1986-12-12
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公开(公告)号: EP0227542A3公开(公告)日: 1989-08-02
- 发明人: Terrat, Jean-Paul , Tremoureux, Yves , Gaucher, Antoine
- 申请人: CENTRE STEPHANOIS DE RECHERCHES MECANIQUES HYDROMECANIQUE ET FROTTEMENT Société dite:
- 申请人地址: Zone Industrielle Sud Rue Benoît Fourneyron F-42160 Andrezieux Boutheon FR
- 专利权人: CENTRE STEPHANOIS DE RECHERCHES MECANIQUES HYDROMECANIQUE ET FROTTEMENT Société dite:
- 当前专利权人: CENTRE STEPHANOIS DE RECHERCHES MECANIQUES HYDROMECANIQUE ET FROTTEMENT Société dite:
- 当前专利权人地址: Zone Industrielle Sud Rue Benoît Fourneyron F-42160 Andrezieux Boutheon FR
- 代理机构: CABINET BONNET-THIRION
- 优先权: FR8518579 19851216
- 主分类号: C23C14/06
- IPC分类号: C23C14/06 ; C23C14/35
摘要:
L'invention vise des couches minces d'aluminium polycristallin, obtenues notamment par pulvérisation cathodique en atmosphère d'argon contenant un gaz susceptible de donner, dans la décharge, des ions azote ou carbone, tels qu'azote moléculaire et méthane. Les couches contiennent l'élément d'addition, carbone ou azote, en solution d'insertion. La teneur en élément d'addition peut être comprise entre 9 et 110 atomes pour mille d'aluminium, et de façon très préférentielle entre 29 et 36 atomes pour mille d'aluminium, cette teneur correspondant à une saturation de la solution d'insertion, qui entraîne un maximum de dureté et un minimum de résistance de contact, comme on le voit à la figure annexée. Ces couches se prêtent à la réalisation de contacts électriques.
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