发明公开
EP0227542A3 Couches minces de métal condensé sur un substrat et contenant carbone ou azote en solution d'insertion 失效
基底上金属凝结薄膜和溶液中含有碳和氮的薄膜

Couches minces de métal condensé sur un substrat et contenant carbone ou azote en solution d'insertion
摘要:
L'invention vise des couches minces d'aluminium polycristallin, obtenues notamment par pulvérisation cathodique en atmosphère d'argon contenant un gaz susceptible de donner, dans la décharge, des ions azote ou carbone, tels qu'azote moléculaire et méthane. Les couches contiennent l'élément d'addition, carbone ou azote, en solution d'insertion. La teneur en élément d'addition peut être comprise entre 9 et 110 atomes pour mille d'aluminium, et de façon très préférentielle entre 29 et 36 atomes pour mille d'aluminium, cette teneur correspondant à une saturation de la solution d'insertion, qui entraîne un maximum de dureté et un minimum de résistance de contact, comme on le voit à la figure annexée. Ces couches se prêtent à la réalisation de contacts électriques.
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