发明公开
EP0228973A1 Procédé et moyens de préhension et de transport des plaquettes de silicium 失效
Verfahren und Mittel zum Greifen undBefördernvonSiliziumplättchen。

Procédé et moyens de préhension et de transport des plaquettes de silicium
摘要:
On met en oeuvre des moyens porteurs ou préhenseurs qui viennent en contact sur la tranche de chaque plaquette (A) ; on transpor­te ensuite la ou les plaquettes ainsi prises ou portées depuis la ou les encoches du panier jusqu'à la ou aux encoches corres­pondantes de la nacelle, et inversement ; on assure la prise sur tranche des plaquettes (A) en mettant en action des moyens (E - E1) qui poussent de bas en haut les plaquettes ou certaines plaquettes demeurant positionnées par la partie supérieure des encoches (C2) des côtés des paniers (C), de façon à rendre les­dites plaquettes préhensibles en donnant un accès aux parties d'appui des moyens préhenseurs ; on commande l'action d'un ou des moyens préhenseurs dont une partie est amenée en face de la tranche de la ou des plaquettes ; on agit sur les moyens préhen­seurs afin d'amener leurs parties de préhension en appui et en serrage radial ou sensiblement contre la tranche de la ou des plaquettes ; on déplace le ou les moyens préhenseurs et la ou les plaquettes prises du panier (C) à la nacelle (D), ou inver­sement.
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