发明公开
EP0228973A1 Procédé et moyens de préhension et de transport des plaquettes de silicium
失效
Verfahren und Mittel zum Greifen undBefördernvonSiliziumplättchen。
- 专利标题: Procédé et moyens de préhension et de transport des plaquettes de silicium
- 专利标题(英): Process and means for seizing and conveying silicon wafers
- 专利标题(中): Verfahren und Mittel zum Greifen undBefördernvonSiliziumplättchen。
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申请号: EP86420002.7申请日: 1986-01-06
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公开(公告)号: EP0228973A1公开(公告)日: 1987-07-15
- 发明人: Rey-Herme, Henry
- 申请人: CENTRE STEPHANOIS DE RECHERCHES MECANIQUES HYDROMECANIQUE ET FROTTEMENT Société anonyme
- 申请人地址: Zone Industrielle Sud Rue Benoît Fourneyron F-42166 Andrezieux Boutheon Cédex FR
- 专利权人: CENTRE STEPHANOIS DE RECHERCHES MECANIQUES HYDROMECANIQUE ET FROTTEMENT Société anonyme
- 当前专利权人: CENTRE STEPHANOIS DE RECHERCHES MECANIQUES HYDROMECANIQUE ET FROTTEMENT Société anonyme
- 当前专利权人地址: Zone Industrielle Sud Rue Benoît Fourneyron F-42166 Andrezieux Boutheon Cédex FR
- 代理机构: Dupuis, François
- 主分类号: H05K13/02
- IPC分类号: H05K13/02 ; H05K13/00
摘要:
On met en oeuvre des moyens porteurs ou préhenseurs qui viennent en contact sur la tranche de chaque plaquette (A) ; on transporte ensuite la ou les plaquettes ainsi prises ou portées depuis la ou les encoches du panier jusqu'à la ou aux encoches correspondantes de la nacelle, et inversement ; on assure la prise sur tranche des plaquettes (A) en mettant en action des moyens (E - E1) qui poussent de bas en haut les plaquettes ou certaines plaquettes demeurant positionnées par la partie supérieure des encoches (C2) des côtés des paniers (C), de façon à rendre lesdites plaquettes préhensibles en donnant un accès aux parties d'appui des moyens préhenseurs ; on commande l'action d'un ou des moyens préhenseurs dont une partie est amenée en face de la tranche de la ou des plaquettes ; on agit sur les moyens préhenseurs afin d'amener leurs parties de préhension en appui et en serrage radial ou sensiblement contre la tranche de la ou des plaquettes ; on déplace le ou les moyens préhenseurs et la ou les plaquettes prises du panier (C) à la nacelle (D), ou inversement.
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