发明公开
EP0291445A2 Verfahren zur Regenerierung von Permanganat-Ätzlösungen sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
无效
用于实施该方法用于高锰酸盐蚀刻溶液再生的方法,以及设备。
- 专利标题: Verfahren zur Regenerierung von Permanganat-Ätzlösungen sowie Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens
- 专利标题(英): Process and apparatus for regenerating permanganate etch solutions
- 专利标题(中): 用于实施该方法用于高锰酸盐蚀刻溶液再生的方法,以及设备。
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申请号: EP88730113.3申请日: 1988-05-10
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公开(公告)号: EP0291445A2公开(公告)日: 1988-11-17
- 发明人: Bressel, Burkhard, Dr. , Germar, Günther , Grapentin, Hans-Joachim
- 申请人: ATOTECH Deutschland GmbH
- 申请人地址: Erasmusstrasse 20-24 D-10553 Berlin DE
- 专利权人: ATOTECH Deutschland GmbH
- 当前专利权人: ATOTECH Deutschland GmbH
- 当前专利权人地址: Erasmusstrasse 20-24 D-10553 Berlin DE
- 代理机构: Effert, Udo, Dipl.-Ing.
- 优先权: DE3716013 19870511
- 主分类号: C23C18/22
- IPC分类号: C23C18/22 ; C23C18/16
摘要:
Die Erfindung betrifft ein Verfahren zur Regenerierung von zum Aufrauhen und Reinigen von Kunststoffoberflächen, insbesondere Leiterplatten, dienenden Permanganat-Ätzlösungen ohne Bildung störender Reaktionsprodukte, wobei das sechswertige Mangan durch elektrochemische Oxidation zu siebenwertigem Mangan oxidiert wird, dadurch gekennzeichnet, daß die Oxidation in einer elektrochemischen Vorrichtung durch anodische Oxidation erfolgt sowie eine Vorrichtung zur Durchführung des Verfahrens.
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