发明公开
- 专利标题： ULTRAVIOLET-ABSORPTIVE POLYMER MATERIAL
- 专利标题（中）： ULTRAVIOLETT吸收剂聚合物材料。
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申请号： EP88900085.7申请日： 1987-12-09
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公开(公告)号： EP0343246A1公开(公告)日： 1989-11-29
- 发明人: TAKAHASHI, Toru Terumo Kabushiki Kaisha , SHIMOMURA, Takeshi Terumo Kabushiki Kaisha , MURAHARA, Masataka
- 申请人： TERUMO KABUSHIKI KAISHA
- 申请人地址： No. 44-1, Hatagaya 2-chome, Shibuya-ku Tokyo 151 JP
- 专利权人： TERUMO KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： TERUMO KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人地址： No. 44-1, Hatagaya 2-chome, Shibuya-ku Tokyo 151 JP
- 代理机构： Henkel, Feiler & Hänzel
- 优先权： JP29147586 19861209; JP1993887 19870130; JP21195787 19870826
- 国际公布： WO1988004306 19880616
- 主分类号： C08F20/12
- IPC分类号： C08F20/12 ; C08F26/00 ; C08F212/00 ; G03C1/00
摘要：
An ultraviolet-absorptive polymer material which comprises a copolymer between a methacrylic ester monomer and other vinyl monomer having a color-forming group showing an absorption peak different from that of the methacrylic ester in the ultraviolet wavelength region. This polymer material is useful as a resist material showing a high etching effect and a high resolution.
公开/授权文献
- EP0343246B1 ULTRAVIOLET-ABSORPTIVE POLYMER MATERIAL 公开/授权日：1994-02-09
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