发明授权
- 专利标题： Sample processing method and apparatus
- 专利标题（中）： 处理样品的方法和装置
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申请号： EP90301267.2申请日： 1990-02-07
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公开(公告)号： EP0385590B1公开(公告)日： 1997-05-02
- 发明人: Kawasaki, Yoshinao , Kawahara, Hironobu , Sato, Yoshiaki , Fukuyama, Ryooji , Nojiri, Kazuo , Torii, Yoshimi
- 申请人： HITACHI, LTD.
- 申请人地址： 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 101 JP
- 专利权人： HITACHI, LTD.
- 当前专利权人： HITACHI, LTD.
- 当前专利权人地址： 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 101 JP
- 代理机构： Paget, Hugh Charles Edward
- 优先权： JP42976/89 19890227
- 主分类号： C23F4/00
- IPC分类号： C23F4/00 ; H01L21/321 ; H01J37/18
公开/授权文献
- EP0385590A1 Sample processing method and apparatus 公开/授权日：1990-09-05
信息查询
IPC分类:
