发明授权
- 专利标题: Beugungsgitter
- 专利标题(英): Diffraction grating
- 专利标题(中): 衍射光栅
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申请号: EP89121637.6申请日: 1989-11-23
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公开(公告)号: EP0387407B1公开(公告)日: 1993-09-08
- 发明人: Dschen Tsing
- 申请人: Landis & Gyr Business Support AG
- 申请人地址: 6301 Zug CH
- 专利权人: Landis & Gyr Business Support AG
- 当前专利权人: Landis & Gyr Business Support AG
- 当前专利权人地址: 6301 Zug CH
- 代理机构: Müller, Hans-Jürgen, Dipl.-Ing.
- 优先权: CH650/89 19890223
- 主分类号: G02B5/18
- IPC分类号: G02B5/18 ; H01L21/306
公开/授权文献
- EP0387407A1 Beugungsgitter 公开/授权日:1990-09-19
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