发明授权
- 专利标题： Micro-displacement detector device, piezo-actuator provided with the micro-displacement detector device and scanning probe microscope provided with the piezo-actuator
- 专利标题（中）： 一种用于检测微转移，使用该装置和扫描显微镜使用压电致动器压电致动器的设备。
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申请号： EP90106621.7申请日： 1990-04-06
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公开(公告)号： EP0391429B1公开(公告)日： 1994-12-28
- 发明人: Takase, Tsugiko , Adachi, Hideo , Okada, Takao , Shimazu, Hisanari , Tomabechi, Hideo
- 申请人： OLYMPUS OPTICAL CO., LTD.
- 申请人地址： 43-2, 2-chome, Hatagaya Shibuya-ku Tokyo 151 JP
- 专利权人： OLYMPUS OPTICAL CO., LTD.
- 当前专利权人： OLYMPUS OPTICAL CO., LTD.
- 当前专利权人地址： 43-2, 2-chome, Hatagaya Shibuya-ku Tokyo 151 JP
- 代理机构： KUHNEN, WACKER & PARTNER
- 优先权： JP88731/89 19890407
- 主分类号： G01B7/34
- IPC分类号： G01B7/34 ; G01N27/00 ; G01B7/16 ; G02B21/26
公开/授权文献
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