发明授权
- 专利标题： Method of manufacturing a semiconductor integrated circuit device
- 专利标题（中）： 半导体集成电路的制造方法
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申请号： EP90106894.0申请日： 1990-04-10
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公开(公告)号： EP0392480B1公开(公告)日： 1997-03-12
- 发明人: Sasaki, Goro, c/o Yokohama Works
- 申请人： SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.
- 申请人地址： 5-33, Kitahama 4-chome, Chuo-ku Osaka-shi, Osaka 541 JP
- 专利权人： SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.
- 当前专利权人： SUMITOMO ELECTRIC INDUSTRIES, LTD.
- 当前专利权人地址： 5-33, Kitahama 4-chome, Chuo-ku Osaka-shi, Osaka 541 JP
- 代理机构： Kahler, Kurt, Dipl.-Ing.
- 优先权： JP92690/89 19890412; JP92691/89 19890412; JP92692/89 19890412; JP104992/89 19890425; JP104993/89 19890425
- 主分类号： H01L27/144
- IPC分类号： H01L27/144 ; H01L31/105
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