发明授权
- 专利标题： Method of forming fine patterns
- 专利标题（中）： 一种用于制作精细图案的过程。
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申请号： EP90113687.9申请日： 1990-07-17
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公开(公告)号： EP0410274B1公开(公告)日： 1995-11-15
- 发明人: Takeuchi, Satoshi, c/o DAI NIPPON INSATSU K.K.
- 申请人： DAI NIPPON INSATSU KABUSHIKI KAISHA
- 申请人地址： 1-1, Ichigaya-Kaga-Cho, Shinjuku-Ku Tokyo-To JP
- 专利权人： DAI NIPPON INSATSU KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： DAI NIPPON INSATSU KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人地址： 1-1, Ichigaya-Kaga-Cho, Shinjuku-Ku Tokyo-To JP
- 代理机构： Müller-Boré & Partner Patentanwälte
- 优先权： JP192180/89 19890725; JP102421/90 19900418
- 主分类号： H05K3/06
- IPC分类号： H05K3/06 ; C23F1/02
公开/授权文献
- EP0410274A3 Method of forming fine patterns 公开/授权日：1992-06-03
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