发明授权
- 专利标题： Surface microscope apparatus
- 专利标题（中）： 的表面显微镜
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申请号： EP91101503.0申请日： 1991-02-05
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公开(公告)号： EP0441311B1公开(公告)日： 1995-12-27
- 发明人: Hasegawa, Tsuyoshi, Hitachi Daiyon Kyoshinryo B208 , Hosaka, Sumio , Hosoki, Shigeyuki , Honda, Yukio , Ichikawa, Masakazu
- 申请人： HITACHI, LTD.
- 申请人地址： 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 101 JP
- 专利权人： HITACHI, LTD.
- 当前专利权人： HITACHI, LTD.
- 当前专利权人地址： 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 101 JP
- 代理机构： Beetz & Partner Patentanwälte
- 优先权： JP24549/90 19900205; JP26036/90 19900207
- 主分类号： H01J37/252
- IPC分类号： H01J37/252 ; G01N27/00
公开/授权文献
- EP0441311A3 Surface microscope apparatus 公开/授权日：1992-02-12
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