发明授权
- 专利标题： METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING INTERCONNECTS WITH FINE LINES AND SPACING
- 专利标题（中）： 方法和设备的精细导体上小间隔生产
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申请号： EP90903489.4申请日： 1990-02-14
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公开(公告)号： EP0458863B1公开(公告)日： 1999-08-11
- 发明人: KADIJA, Igor V.
- 申请人： KADIJA, Igor V.
- 申请人地址： 118 Sherwood Road Ridgewood, NJ 07450 US
- 专利权人： KADIJA, Igor V.
- 当前专利权人： KADIJA, Igor V.
- 当前专利权人地址： 118 Sherwood Road Ridgewood, NJ 07450 US
- 代理机构： VOSSIUS & PARTNER
- 优先权： US311212 19890215
- 国际公布： WO9009469 19900823
- 主分类号： C25D5/06
- IPC分类号： C25D5/06 ; C25F3/14
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