发明公开
- 专利标题： METALLIONENQUELLE UND VERFAHREN ZUM ERZEUGEN VON METALLIONEN
- 专利标题（英）： Metal-ion source and process for the generation of metal ions.
- 专利标题（中）： 金属离子源及其制造方法金属离子。
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申请号： EP90912792.0申请日： 1990-08-31
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公开(公告)号： EP0470209A1公开(公告)日： 1992-02-12
- 发明人: KLUGE, Andreas , NELLE, Peter
- 申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
- 申请人地址： Leonrodstrasse 54 D-80636 München DE
- 专利权人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
- 当前专利权人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V.
- 当前专利权人地址： Leonrodstrasse 54 D-80636 München DE
- 代理机构： Schoppe, Fritz, Dipl.-Ing., et al
- 优先权： DE19893935408 19891024
- 国际公布： WO1991006969 19910516
- 主分类号： C23C14
- IPC分类号： C23C14 ; H01J27 ; H01J37 ; H01L21
摘要：
Pour simplifier la structure d'une source d'ions métalliques, en particulier pour l'implantation de faibles doses de métaux difficilement évaporables dans des tranches de silicium semiconductrices, la source d'ions métalliques comporte une cathode incandescente chauffable électriquement sous la forme d'un filament chauffant à l'intérieur d'une chambre à ions (1a), ledit filament chauffant (3) étant disposé près d'une pièce métallique (6) dans le métal destiné au dégagement d'ions métalliques et placé essentiellement au potentiel dudit métal.
公开/授权文献
- EP0470209B1 METALLIONENQUELLE UND VERFAHREN ZUM ERZEUGEN VON METALLIONEN 公开/授权日：1992-12-30
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