发明授权
- 专利标题： Miniature electronic device aligner using capacitance techniques
- 专利标题（中）： 电容式工作的缩影调整电子元器件
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申请号： EP92103820.4申请日： 1992-03-06
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公开(公告)号： EP0507099B1公开(公告)日： 1996-01-10
- 发明人: Flint, Ephraim Bemis , Yarmchuk, Edward John
- 申请人： International Business Machines Corporation
- 申请人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人： International Business Machines Corporation
- 当前专利权人地址： Old Orchard Road Armonk, N.Y. 10504 US
- 代理机构： Schäfer, Wolfgang, Dipl.-Ing.
- 优先权： US679412 19910402
- 主分类号： G02B6/42
- IPC分类号： G02B6/42 ; H01L21/66
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