发明授权
- 专利标题： Strahlungsempfindliches Gemisch
- 专利标题（英）： Radiation-sensitive composition
- 专利标题（中）： 一种辐射敏感混合物
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申请号： EP93101036.7申请日： 1993-01-23
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公开(公告)号： EP0553737B1公开(公告)日： 1999-09-22
- 发明人: Binder, Horst , Schwalm, Reinhold, Dr. , Funhoff, Dirk, Dr.
- 申请人： BASF Aktiengesellschaft
- 申请人地址： Carl-Bosch-Strasse 38 67063 Ludwigshafen DE
- 专利权人： BASF Aktiengesellschaft
- 当前专利权人： BASF Aktiengesellschaft
- 当前专利权人地址： Carl-Bosch-Strasse 38 67063 Ludwigshafen DE
- 优先权： DE4202845 19920131
- 主分类号： G03F7/039
- IPC分类号： G03F7/039
公开/授权文献
- EP0553737A1 Strahlungsempfindliches Gemisch 公开/授权日：1993-08-04
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