发明公开
- 专利标题: PRESSURE SENSOR WITH HIGH MODULUS SUPPORT
- 专利标题(中): 与高弹性模块支架压力传感器。
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申请号: EP92909243.0申请日: 1992-03-24
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公开(公告)号: EP0577720A1公开(公告)日: 1994-01-12
- 发明人: BRODEN, David, A. , BISCHOFF, Brian, J. , LOUWAGIE, Bennett, L.
- 申请人: ROSEMOUNT INC.
- 申请人地址: 12001 Technology Drive Eden Prairie, MN 55344 US
- 专利权人: ROSEMOUNT INC.
- 当前专利权人: ROSEMOUNT INC.
- 当前专利权人地址: 12001 Technology Drive Eden Prairie, MN 55344 US
- 代理机构: Cross, Rupert Edward Blount, et al
- 优先权: US19910677309 19910329
- 国际公布: WO1992017756 19921015
- 主分类号: G01L7
- IPC分类号: G01L7 ; G01L9 ; G01L13
摘要:
Couche mince métallique (58) liant la surface de liaison à semiconducteurs (54, 56) d'une couche diaphragme (50) à la surface de liaison en céramique (44) d'un bloc support à module élevé (40). Cet agencement protège un diaphragme capteur de pression (60) des contraintes indésirables et en améliore la précision. Un passage (48) traversant le bloc support (40) couple la pression fluidique au diaphragme capteur (60) pour le faire dévier. Un couplage capacitif entre le diaphragme (60) et une plaque de condensateur (47) sur le bloc support (40) détecte la déviation et produit un signal de sortie représentant la pression.
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