发明授权
EP0591832B1 Signal processing method and displacement information measuring device
失效
用于通过信号处理的装置测量物体的位移的方法及装置
- 专利标题： Signal processing method and displacement information measuring device
- 专利标题（中）： 用于通过信号处理的装置测量物体的位移的方法及装置
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申请号： EP93115725.9申请日： 1993-09-29
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公开(公告)号： EP0591832B1公开(公告)日： 1998-06-03
- 发明人: Igaki, Masahiko, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Kataoka, Kenichi, c/o Canon Kabushiki Kaisha , Fujii, Katsuhiro, c/o Canon Kabushiki Kaisha
- 申请人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 申请人地址： 30-2, 3-chome, Shimomaruko, Ohta-ku Tokyo JP
- 专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人： CANON KABUSHIKI KAISHA
- 当前专利权人地址： 30-2, 3-chome, Shimomaruko, Ohta-ku Tokyo JP
- 代理机构： Tiedtke, Harro, Dipl.-Ing.
- 优先权： JP286854/92 19920930
- 主分类号： G01D5/34
- IPC分类号： G01D5/34 ; G01D5/36
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