发明授权
- 专利标题： Scanning electron microscope
- 专利标题（中）： 扫描型电子显微镜
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申请号： EP93116733.2申请日： 1993-10-15
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公开(公告)号： EP0594084B1公开(公告)日： 2003-05-21
- 发明人: Todokoro, Hideo , Otaka, Tadashi
- 申请人： Hitachi, Ltd.
- 申请人地址： 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo JP
- 专利权人： Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人： Hitachi, Ltd.
- 当前专利权人地址： 6, Kanda Surugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo JP
- 代理机构： Strehl Schübel-Hopf & Partner
- 优先权： JP30620592 19921020
- 主分类号： H01J37/28
- IPC分类号： H01J37/28
公开/授权文献
- EP0594084A1 Scanning electron microscope 公开/授权日：1994-04-27
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