发明授权
EP0634465B1 Method of polishing a surface of copper or an alloy comprising mainly copper
失效
用于抛光铜表面或合金，包括铜作为主要成分的方法
- 专利标题： Method of polishing a surface of copper or an alloy comprising mainly copper
- 专利标题（中）： 用于抛光铜表面或合金，包括铜作为主要成分的方法
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申请号： EP94201956.3申请日： 1994-07-07
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公开(公告)号： EP0634465B1公开(公告)日： 1998-11-11
- 发明人: Haisma, Jan , De Haas, Peter Wilhelmus , De Boer, Dirk Kornelis Gerhardus , Van Den Hoogenhof, Walterus Wilhelmus , Postma, Lambertus
- 申请人： Koninklijke Philips Electronics N.V.
- 申请人地址： Groenewoudseweg 1 5621 BA Eindhoven NL
- 专利权人： Koninklijke Philips Electronics N.V.
- 当前专利权人： Koninklijke Philips Electronics N.V.
- 当前专利权人地址： Groenewoudseweg 1 5621 BA Eindhoven NL
- 代理机构： Schrijnemaekers, Hubert Joannes Maria
- 优先权： BE9300716 19930712
- 主分类号： C09G1/02
- IPC分类号： C09G1/02 ; C09K3/14 ; G11B5/31
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