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EP0671871B1 APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING IONISED GAS BY USE OF X-RAYS, AND VARIOUS APPARATUSES AND STRUCTURES USING IT
失效
装置及其制造方法的气体离子利用X射线及其在不同的设备和结构中的应用
- 专利标题： APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING IONISED GAS BY USE OF X-RAYS, AND VARIOUS APPARATUSES AND STRUCTURES USING IT
- 专利标题（中）： 装置及其制造方法的气体离子利用X射线及其在不同的设备和结构中的应用
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申请号： EP94908129.3申请日： 1993-08-13
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公开(公告)号： EP0671871B1公开(公告)日： 2003-07-02
- 发明人: OHMI, Tadahiro , INABA, Hitoshi , IKEDO, Tomoyuki
- 申请人： TAKASAGO NETSUGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA , Hamamatsu Photonics K.K. , OHMI, Tadahiro
- 申请人地址： 2-8, Kandasurugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 101 JP
- 专利权人： TAKASAGO NETSUGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA,Hamamatsu Photonics K.K.,OHMI, Tadahiro
- 当前专利权人： TAKASAGO NETSUGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA,Hamamatsu Photonics K.K.,OHMI, Tadahiro
- 当前专利权人地址： 2-8, Kandasurugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 101 JP
- 代理机构： Dr. Weitzel & Partner
- 优先权： JP21680792 19920814
- 国际公布： WO94005138 19940303
- 主分类号： H05F3/06
- IPC分类号： H05F3/06 ; H01L21/02 ; H01L21/68 ; A01G7/00 ; E04H5/02
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