发明授权
- 专利标题： Apparatus and method for producing gaseous ions by use of x-rays
- 专利标题（中）： 使用X射线的方法和设备生产的气态离子的
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申请号： EP97104550.5申请日： 1993-08-13
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公开(公告)号： EP0792090B1公开(公告)日： 2004-07-21
- 发明人: Ohmi, Tadahiro , Inaba, Hitoshi, , Ikedo, Tomoyuki, Hamamatsu Photonics K.K.
- 申请人： TAKASAGO NETSUGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA , Hamamatsu Photonics K.K. , OHMI, Tadahiro
- 申请人地址： 2-8, Kandasurugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 101 JP
- 专利权人： TAKASAGO NETSUGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA,Hamamatsu Photonics K.K.,OHMI, Tadahiro
- 当前专利权人： TAKASAGO NETSUGAKU KOGYO KABUSHIKI KAISHA,Hamamatsu Photonics K.K.,OHMI, Tadahiro
- 当前专利权人地址： 2-8, Kandasurugadai 4-chome Chiyoda-ku, Tokyo 101 JP
- 代理机构： Dr. Weitzel & Partner
- 优先权： JP21680792 19920814
- 主分类号： H05F3/06
- IPC分类号： H05F3/06 ; H01L21/00
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