发明授权
EP0809100B1 Sensorelement und dessen Herstellungsverfahren zum Nachweis von Fluiden 失效
传感器元件和用于检测流体的其制造方法

  • 专利标题: Sensorelement und dessen Herstellungsverfahren zum Nachweis von Fluiden
  • 专利标题(英): Sensor element for the detection of fluids and production method
  • 专利标题(中): 传感器元件和用于检测流体的其制造方法
  • 申请号: EP97107121.2
    申请日: 1997-04-29
  • 公开(公告)号: EP0809100B1
    公开(公告)日: 2004-11-17
  • 发明人: Igel, Günter
  • 申请人: Micronas Semiconductor Holding AG
  • 申请人地址: Technopark Technoparkstrasse 1 8005 Zürich CH
  • 专利权人: Micronas Semiconductor Holding AG
  • 当前专利权人: Micronas Semiconductor Holding AG
  • 当前专利权人地址: Technopark Technoparkstrasse 1 8005 Zürich CH
  • 代理机构: Hornig, Leonore, Dr.
  • 优先权: DE19621227 19960525
  • 主分类号: G01N27/12
  • IPC分类号: G01N27/12
Sensorelement und dessen Herstellungsverfahren zum Nachweis von Fluiden
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