发明授权
- 专利标题： DISPOSITIF POUR DEPOSER UN MATERIAU PAR EVAPORATION SUR DES SUBSTRATS DE GRANDE SURFACE
- 专利标题（英）： Device for vapour-depositing a material on high surface area substrates
- 专利标题（中）： 设备技术材料涂层大面积衬底
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申请号： EP96915075.4申请日： 1996-04-23
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公开(公告)号： EP0824603B1公开(公告)日： 1999-06-30
- 发明人: IDA, Michel , PERRIN, Aimé , BOREL, Michel , CHARLES, Raymond
- 申请人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
- 申请人地址： 31-33, rue de la Fédération 75015 Paris FR
- 专利权人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
- 当前专利权人： COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE
- 当前专利权人地址： 31-33, rue de la Fédération 75015 Paris FR
- 代理机构： Dubois-Chabert, Guy
- 优先权： FR9504873 19950424
- 国际公布： WO9634123 19961031
- 主分类号： C23C14/24
- IPC分类号： C23C14/24 ; C23C14/50 ; H01J9/02
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